1.单级油封旋片式真空泵 SV10B-SV1200 抽速：11-1150m3/h 真空度：
0.08-1mbar
2.双级油封旋片式真空泵 D8C-D60C 抽速：
8.11-64.37m3/h 真空度：
0.003mbar
3.罗茨泵 真空泵机组 WAU251-2001 抽速:253-2050m3/h 真空度：50-80mbar