SiH4硅烷气体检测仪、报警器  传感器：进口气体传感器  测量范围： 0～20ppm  分辨率： 0.1ppm  检测原理：电化学原理  响应时间： 电化学传感器<60秒  准确度： 5%F.S
 工作温度：-20℃至+50℃  工作湿度: 15%-95%相对湿度（无冷凝）