0.15µm,針對光阻測試機型,高準確度,低流量
測試粒徑: ≧0.15µm,≧ 0.2 µm,≧ 0.3 µm,≧ 0.5 µm,
測試流速: 10ml/min
最大濃度: 2400 pcs/mL
對應機型: KE-40
機台尺寸: 高:160mm, 寬:300mm, 長:250mm, 重量:
7.5公斤