本机特性：整线全自动三段式加热控温干燥。

1、 被烘干工件：156（L）×156（W）×0.29（H）mm

2、 整机外型尺寸：5600（L）×1200（W）×1200（H）mm

3、 整机功率：约16KW

4、 输送速度：200-1500mm/min

5、 烘干功能：使硅片完全干燥，并保持洁净。