1、 半导体行业专用制氮机 半导体级多晶硅行业对于生产工艺有着极为严格的要求,长期以来由于PSA空分设备的技术局限性,生产的氮气不能完全满足其需要,因此在工业上一直使用昂贵的液氮作为保护氛围。对此,Weiton经过近两年的研发与摸索,在通用制氮装置的基础上,根据半导体行业对氮气的特殊要求,成功研制出了专用的制氮系统。此制氮系统所生产的氮气纯度高、露点低,无有害杂质,完全可以满足半导体行业对氮气的高求,且装置操作方便,维护简单,消耗品少,是用户毋庸质疑的最佳选择。Weiton研发的全球首例半导体级多晶硅(6寸以上晶圆)专用制氮系统在香港顺利投产,至今已不间断、满负荷、无故障运行近两年,对整个PSA制氮行业具有突破性的历史意义。 目前,Weiton是唯一在半导体级多晶硅行业中拥有完善技术和应用实例的PSA制氮厂家。 广州市维通工业气体技术有限公司地址:广州市番禺区南村镇坑头工业区西线路15号电话:020-84568851 020-84569638传真:020-84568850邮编:511442邮箱:weiton@网址:博客/Blog:维通