厂家销售 DM-CVD石英管式微波等离子体装置
上海东茂电子科技有限公司
上海市场杨浦区龙江路225号409室
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上海东茂/DM-CVD石英管式微波等离子体装置
类型
专题实验仪，专用仪器设备
序号型 号名 称结 构 性 能 及 参 数出厂价￥10-1DM-CVD 石英管式微波等离子体装置
DM-S 循环水机(一)主要配置：
1、微波频率2.45GHz；足额功率0～500W（基本型）或0～1000W（升级型）连续可调，阳极高压、阳极电流足额显示；
2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升级型）石英管真空室，有一个观察窗和一个诊断窗；
3、石英管采用制冷循环水冷却，保证装置安全运行。
4、配有真空测量及控制阀门系统；3路工作气体流量控制； (二)典型实验：
1、等离子体化学气相沉积。A（气） B（气）→C（固） D（气）。反应气体A、B被激发为等离子状态，其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上，可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜、碳纳米材料等。
2、等离子体表面刻蚀。A（气） B（固）→C（气）。反应气体A被激发为等离子体状态与固体B表面原子发生反应生成气态物C，可用于集成电路的刻蚀实验。
3、等离子体催化反应。等离子体中具有丰富的活性成分，如紫外和可见光子、电子、离子、自由基，高反应性的中性成分如活性原子、受激原子态，从而可以引发在常规化学中不能或很难实现的化学反应。
4、等离子体表面改性。A（气） B（固）→C（固）。反应气体A被激发为等离子体状态，与固体B表面发生反应，生成新的化合物，从而达到改变B物质表面性质的目的。广泛用于高分子材料、金属材料、生物医用材料的表面改性。 (三)产品特色：
1、 微波系统设计严谨，加工精良，运行时微波准零泄漏，确保使用者人身安全；
2、 微波功率充足，等离子效应强劲，作用效果良好；阳极电压电流足额显示。
3、 样品台升降架精巧豪华，方便调谐和样品取放；
4、 样品台可加热或冷却，有利于控制反应过程。
5、制冷循环水系统践行环保理念，避免用长流水费水扰民。
6、循环水机可联机使用、可独立使用，提高了投资效益；
7、缺水时启动高压或正常工作时断水，系统会断电并报警；
8、真空泵排气口接有油雾过滤器，保护环境；
9、电控系统功能完善、操作灵便、指示醒目；
10、整机造型典雅大气。 (四)辅助设备与耗材（主要由客户另购）：超声清洗机、1000×金相显微镜；硅片、金刚石微粉、氢气、甲烷、甲/乙醇、玻璃基衬底的碳膜、模板、石英管/板等。 (五)特殊配置（客户提出要求,本厂设计制作,费用双方协商）：
1、异型基片台（样品台）
（参考价￥220）
2、上置疹断探针（带透明观察窗）
（参考价￥360）3、可加热可测温的基片台——可水冷可出接线端子的基片台支柱——宽行程精巧豪华升降架——下法兰(总成)
（参考价￥6800） 4、基片台加热及温度测控仪
（参考价￥1100）
5、可水冷的基片台（带升降架总成）
（参考价￥3600）
6、光学镜头(用于联接光谱仪、光度计等) （参考价￥1500）
7、客户提出需求的其它配置
（另议）DM-CVD8(升级型) 150000DM-CVD6(基本型) 78000客户要求改变结构增加配置者价格另议10-2DM3000 多功能真空实验装置(一)技术参数及特性：
1、工作电压：
AC220V±5%
50Hz
2、整机功率：
3000W
3、整机重量：
约260Kg
4、外形尺寸：真空系统：
长650宽560 高1460（mm）电控系统：
长560宽560高1480（mm）
5、真空室极限真空度： 10-3Pa
6、蒸发电流调节范围 ： 0～150A
7、放电管工作电压：
0～1500V
8、放电管电流测量范围
200uA～200mA(二)产品特色：
DM-S 循环水机(一)主要配置：
1、微波频率2.45GHz；足额功率0～500W（基本型）或0～1000W（升级型）连续可调，阳极高压、阳极电流足额显示；
2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升级型）石英管真空室，有一个观察窗和一个诊断窗；
3、石英管采用制冷循环水冷却，保证装置安全运行。
4、配有真空测量及控制阀门系统；3路工作气体流量控制； (二)典型实验：
1、等离子体化学气相沉积。A（气） B（气）→C（固） D（气）。反应气体A、B被激发为等离子状态，其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上，可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜、碳纳米材料等。
2、等离子体表面刻蚀。A（气） B（固）→C（气）。反应气体A被激发为等离子体状态与固体B表面原子发生反应生成气态物C，可用于集成电路的刻蚀实验。
3、等离子体催化反应。等离子体中具有丰富的活性成分，如紫外和可见光子、电子、离子、自由基，高反应性的中性成分如活性原子、受激原子态，从而可以引发在常规化学中不能或很难实现的化学反应。
4、等离子体表面改性。A（气） B（固）→C（固）。反应气体A被激发为等离子体状态，与固体B表面发生反应，生成新的化合物，从而达到改变B物质表面性质的目的。广泛用于高分子材料、金属材料、生物医用材料的表面改性。 (三)产品特色：
1、 微波系统设计严谨，加工精良，运行时微波准零泄漏，确保使用者人身安全；
2、 微波功率充足，等离子效应强劲，作用效果良好；阳极电压电流足额显示。
3、 样品台升降架精巧豪华，方便调谐和样品取放；
4、 样品台可加热或冷却，有利于控制反应过程。
5、制冷循环水系统践行环保理念，避免用长流水费水扰民。
6、循环水机可联机使用、可独立使用，提高了投资效益；
7、缺水时启动高压或正常工作时断水，系统会断电并报警；
8、真空泵排气口接有油雾过滤器，保护环境；
9、电控系统功能完善、操作灵便、指示醒目；
10、整机造型典雅大气。 (四)辅助设备与耗材（主要由客户另购）：超声清洗机、1000×金相显微镜；硅片、金刚石微粉、氢气、甲烷、甲/乙醇、玻璃基衬底的碳膜、模板、石英管/板等。 (五)特殊配置（客户提出要求,本厂设计制作,费用双方协商）：
1、异型基片台（样品台）
（参考价￥220）
2、上置疹断探针（带透明观察窗）
（参考价￥360）3、可加热可测温的基片台——可水冷可出接线端子的基片台支柱——宽行程精巧豪华升降架——下法兰(总成)
（参考价￥6800） 4、基片台加热及温度测控仪
（参考价￥1100）
5、可水冷的基片台（带升降架总成）
（参考价￥3600）
6、光学镜头(用于联接光谱仪、光度计等) （参考价￥1500）
7、客户提出需求的其它配置
（另议）DM-CVD8(升级型) 150000DM-CVD6(基本型) 78000客户要求改变结构增加配置者价格另议10-2DM3000 多功能真空实验装置(一)技术参数及特性：
1、工作电压：
AC220V±5%
50Hz
2、整机功率：
3000W
3、整机重量：
约260Kg
4、外形尺寸：真空系统：
长650宽560 高1460（mm）电控系统：
长560宽560高1480（mm）
5、真空室极限真空度： 10-3Pa
6、蒸发电流调节范围 ： 0～150A
7、放电管工作电压：
0～1500V
8、放电管电流测量范围
200uA～200mA(二)产品特色：
