特点 通过安装一个温度流量传感器得到高的快速回应 通用的常闭型阀门无焊接构造，金属密封确保低的泄露由于膈膜角座阀较少了死区间距，主体尺寸和连接的设计可以和生产商的控制器兼容 技术指标F.S.流量(N2换算)10SCCM-20SLM阀门方式常闭电磁隔膜阀控制范围2%-100%F.S.响应±2%在1秒以内QS option proviodes 1 sec.or less for 0-100% to 0-20%responses精度±1.0%F.S.以内线性±0.5%F.S.以内再现性±0.2%F.S.以内耐压980kPa操作差压F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa5＜F.S.≤20SLM 147kPa-294kPa泄漏范围1×10-11Pa·m3/s以内使用温度0℃-50℃（精度保证：15-35℃）连接气体部分材料外壳：SUS316L隔膜：Ni-Co阀座：PTFE封条：Ni，SUS316L接头1/4VCR电力连接Dusb 9-pin male connector per KFC standard输入流量信号0-5VDC输出流量信号0-5VDC需求电源供给5400:' 15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA5410:' 15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)100mA