多功能离子镀膜设备:该系列设备主要是(集)直流磁控溅射,中频溅射和电弧电子蒸发三种技术融合一体,结合线性离化脉冲偏压可使沉积颗料细化,膜层各项性能提高,能在金属制品及非金属表面镀制合金膜、化合物膜、多层复合膜等。经公司技术人员多年专注研发,通过特有的阴极电弧离子和非平衡磁控系统,并开发出整套PROPOWER系列计算机自动控制系统,使镀膜膜层附着力致密度、从复度一致性好等特点,解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色不一致等问题。广泛适用于手表、手机壳、五金、洁具、餐具及要求耐磨起硬的刀具、模具等。镀制Tin、TiCN、CrN、TiALN、TiCrN、ZrN、TiNC及各类金属石膜(DLC)。
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磁控溅射的原理是基于阴极辉光放电理论,把阴极表面磁场扩展到接近工件表面,提高了溅射原子离化率。既保留磁控溅射的细腻又增强了表面光泽度。
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电弧等离子体蒸发源性能可靠,在优化阴极及磁场结构镀膜时可在30A电流下工作,镀膜膜层和基底界面产生原子扩散,又具有离子束辅助沉积的特点。
型号真空室尺寸JTZ-800JTL-1000JTL-1250¢800×1000MM¢1000×1000MM¢1250×1100MM镀膜方式及主要配置六个多弧源 一套圆柱靶 一套平面矩形磁控溅射靶八个多弧源 一对孪生(中频)磁控溅射靶 一套平面矩形磁控溅射靶十二个多弧源 一对孪生(中频)磁控溅射靶 两套平面矩形磁控溅射靶镀膜方式及主要配置电弧电源、直流磁控电源、中频磁控电源、灯丝电源、脉冲电源、线性离化源工艺气体控制质量流量计 电磁陶瓷阀真空室结构立式侧(单)开门结构,后置抽气系统,双层水冷真空系统组成分子泵 罗茨泵 机械泵(5.0×10-4PA)工件烘烤温度常温到500度可调可控(PID控温),辐射加热工件运动方式公自转变频调速,0~20转/分测量方式数显复合真空计:测量范围从大气至1.0×10-5PA控制方式手动/自动/PC/PLC HMI/PC四种方式可选备注以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做