NanoMap-O三维非接触光学表面轮廓仪                                         

我们的高分辨扫描白光干涉仪是一个最、易于使用的光学计量学系统。NanoMap-O系列光学轮廓仪广泛地用于表征各种表面参数，像表面粗糙、尺度、台阶高度、薄膜厚度等。所有的测量都是快的非接触的。

结合高质量的激光器、透镜、低机器噪声和技术，它能够完成二百多万像素的图像，具有0.001nm的分辨率。数据分析SPIP软件是工业上最有用的软件，广大用户能够做各种应用的表面分析。

特征

▪ 非接触基的技术

▪ 多余二百万像素的图像

▪ 0.001nm的分辨率

▪ Z轴范围从nm到50mm

▪ XY扫描范围达到150x150mm

▪ 超高分辨率数字成像传感器同工业标准比较，传递13倍的数据

▪ LED光源寿命多于15年

应用

▪ 台阶高度测量

▪ 表面粗糙测量

▪ 定量的抓和挖的特征，呈现深度、宽度和体积

▪ 平面或曲率的测量

▪ 二维薄膜应力测量

▪ 薄膜厚度

▪ 表面轮廓- 缺陷、形貌等