CV-3100S4轮廓仪技术规格:
X轴
-测量范围 : X轴100mm
-直线度　　　　　           　　：0.8μm/100mm,   *当X轴在水平方向
-指示精度(20℃时)　　：±（1＋0.01L）μm,L为驱动长度（mm）
-倾斜范围                              ：±45°
-测量方向　　：向前/向后
-测量方法                            ：反射型光栅尺
-驱动速度                            ：80mm/s和手动
-测量速度                            ：0.02--5mm/s
 Z轴（立柱）
-行程范围　　　　　　　　　　　　       :300mm电动立柱
-Z轴分辨率                           ：1um
-测量方法                            ：ABSOLUTE光栅尺
-驱动速度                            ：0-20mm/s和手动
检测器Z1轴
-测量范围 : 25mm
-分辨率　　　　　　　　　　　　　   ：0.2um
-测量方法　　　　　　　　　　　　　　：光栅尺
-指示精度　　　　　　　　　　　　　　：±（2＋I4HI/100）μm（20℃时）
                                        H为水平位置上的测量高度
探针（根据表面粗糙度，使用标准单切面探针）
-探针运动　　　　　　　　　　　　　　：上下弧形运动
-探针方向 : 向下
-探针测力　　　　　　　　　   　：30mN
-跟踪角度 :向上：77°   向下：87°
-探针针尖     半径                  ：25um  硬质合金针尖
 
 
主机
-电源  :220／240V AV±10％，50/60Hz
-功耗                               ：400W（仅限主机）
-基座尺寸                           ：600 X 450mm  
-尺寸  :741 (W)* 450 (D)* 905 (H)mm
-重量  :140kg 控制装置：14Kg  遥控箱：0.9