JAC-82型多晶铸锭炉是专为太阳能光伏产业设计的,用于制造高品质的多晶硅铸块,是太阳能多晶硅片生产过程必备设备。该炉是一种高效节能型熔硅铸锭炉,采用石墨电阻加热方式,运用先进计算机控制技术,实现稳步定向凝固,生产出高质量、大规格的多晶硅锭。
多晶铸锭工作程序分为:加热、溶解、成长、退火、冷却等步骤。控制原理如下:通过工业控制计算机设置各种工艺参数和预设参数后,送到智能控制器,作好生产前准备。然后在表面处理过的石英坩埚(SiN喷涂、烘焙)中装入多晶硅或单晶硅碎料,并连同石墨坩埚放置于热交换台上。密闭炉体、保温罩使坩埚处于相对封闭的热场空间,抽取真空到规定值;通过智能控制器开启、调整电源系统使之输出大电流到石墨加热器,自动控制温度及时间使坩埚内的多晶硅完全熔解;待多晶硅原料完全熔解后,按工艺要求,缓慢提升热屏,逐步暴露出热交换台,允许热能藉辐射方式散发至通有冷却水的腔体内壁;热屏提升首先使坩埚底部得以降温,并使熔化硅液在垂直方向上形成温度梯度,温度梯度的形成必然使得熔化硅液逐步从下方向上方凝固结晶;当所有的硅液均固化后,硅锭再经过热退火、充入惰性气体、控制冷却方式等步骤处理,以避免硅锭出现裂纹及减少差排的发生;冷却到规定温度后,打开下腔体取出硅锭。