洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
等数ISO空气洁净 | 大于或等于表中粒径的浓度限值（P/m -空气） | 洁净等级美国联邦209E |
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um |
ISO Class1 | 10 | 2 | | | | | |
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | | | |
ISO Class3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | | 1 |
ISO Class4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | | 10 |
ISO Class5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
ISO Class6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
ISO Class7 | | | | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 |
ISO Class8 | | | | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 |
ISO Class9 | | | | 35200000 | 8320000 |
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