应用领域： CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理.
产品特点： CVD系列真空气氛管式炉专门设计用于高温材料沉积之用。 硅钼棒加热、刚玉炉管炉膛, 可预抽真空,便于通入参加反应的气体, CVD系列真空气氛管式炉进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
技术指标：
设备型号 | CVD（D）-06/60/3 | CVD（Z）-06/30/1 | CVD（G）-07/50/2 | CVD（G）-09/50/1 |
最高温度 | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ |
使用温度 | RT—1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | 1000-1600℃ |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
温区个数 | 3个 | 1个 | 2个 | 1个 |
加热区长度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm |
炉管尺寸 | ф60（外径）×1400（mm） | ф60（外径）×1000（mm） | ф70（外径）×1450（mm） | ф90（外径）×1450（mm） |
炉管材料 | 石英管 | 刚玉管 | 刚玉管 | 刚玉管 |
发热元件 | 进口电阻丝 | 电阻丝/硅碳棒 | 硅钼棒、电阻丝 | 硅钼棒 |
最大装机功率 | 4.5KW | 3kw/8kw | 10kw | 12kw |
CVD-□□□ 选件功能 | /□ | /□ | |
V | | 真空系列：单级机械泵+扩散泵机组 |
| Q | 气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计 |
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