实验题目：关于石墨舟的几点看法
一、石墨舟目前现状：
三五中心石墨舟为最早一批采购，已经使用将近一年半，一直使用HF酸溶液浸泡处理。六七中心石墨舟已使用近半年，同样采用HF酸溶液浸泡处理。处理的石墨舟一般进行预处理镀膜10200s。
二、石墨表面形貌观察
（1）图1为全新的石墨销子(材料与石墨舟材料略有不同)，图2，图3为其表面在SEM下图片。
图1 图2 图3
可以看出其大部分区域光滑，部分区域有些坑洼。
（2）图4，图5，图6为六七中心石墨舟SEM图片，放大倍数分别为250，500，1000。
图4 图5 图6
（3）图7，图8为三中心石墨舟SEM图片，放大倍数分别为500，1000.
图7 图8
从三，六中心的石墨舟SEM图片来看，明显可以看出，三中心的石墨舟腐蚀严重，表面出现了严重的孔洞。
三、石墨舟预处理的看法：
（1）石墨舟为什么要预处理。
对石墨舟进行热处理，可以有效去除石墨舟的杂质。目前我们的石墨舟处理工艺为直接镀膜10200s（五中心为8000s）。镀一定厚度的薄膜可以略微使表面平整，使电场均匀（未验证）。
图9未处理过的石墨周图片，图10为处理过的石墨舟图片（约需要镀膜5000s）
图9 图10
（2）对七中心J15-04B，J13-07B舟的跟踪。
新处理工艺为：NH3/SiH4=4.3slm/500sccm，3200w，每次镀膜1000s，镀膜7次，每次镀膜间隔5分钟，相当于热处理烘干30分。
处理后舟的返工片（色差，膜深）数目：
| J15-04B | J13-07B |
第一次 | 0 | 6 |
第二次 | 0 | 0 |
第三次 | 0 | 0 |
新处理工艺说明六七中心处理舟的工艺目前可以缩短镀膜时间。从而提高舟的使用寿命。
（3）对三中心的舟处理跟踪
新处理工艺为：NH3/SiH4=4.3slm/500sccm，3200w，每次镀膜1100s，镀膜10次，每次镀膜间隔3分钟，相当于热处理烘干27分。
| G1--11B | J2-1B |
第一次 | 17 | 12 |
第二次 | 32 | 0 |
第三次 | 停止使用 | 0 |
此次跟踪的舟的前三次返工片数量效果不一，对G1-11B效果很差，对J2-1B效果较好。
（4）下一步的想法：
对六七中心的石墨舟缩短其镀膜处理时间，延长烘干时间，增加其使用寿命。
对三五中心的部分舟暂时延长其处理时间，同时延长烘干时间，看其试用效果，并跟踪其使用寿命。
四、处理石墨舟的部分建议
（1）由于三中心有干法刻蚀系统，可以对三中心新购进的石墨舟进行干法刻蚀处理+湿法刻蚀处理。
（2）针对石墨舟的镀膜处理到底需要多长时间，烘干多长时间目前并无确切说法，由于增加石墨舟镀膜处理时间相当于透支了石墨舟的正常使用次数，所以可以尝试延长热处理时间，适当缩短镀膜时间的方法。
（3）由于HF酸溶液浸泡去除SiN膜是比较方便的方法，可以尝试适当降低HF酸溶液浓度，延长舟的处理时间，降低HF酸对石墨舟的伤害。
（4）尝试给出镀膜出现色差片时对石墨舟的部分处理意见（需排除是片源及制绒的影响）。
上海弘竣对客户的承诺：
1石墨舟材质：弘竣的石墨舟材质是由德国西格里生产的石墨，从西格里出厂到我公司制成石墨舟都有资质证明文件。
2.石墨舟的保质：弘竣的石墨舟出厂都有严格的检质程序，出厂后的石墨舟保质期为540天.销钉为90天，在非人为的情况下，石墨舟如有任何问题都可以找弘竣来维修甚至退货。
3.包装符合陆路运输要求，由于包装不当造成的损失由弘竣实业承担。由弘竣实业负责送货，运费由弘竣实业承担，货物实际交付前的一切风险由弘竣实业承担。客户收到货物后，如有外在产品质量问题7天内向弘竣实业提出，内在产品质量问题30天内向弘竣实业提出，弘竣实业负责及时退货或换货。
4. 售后服务： 在质量保证期内发现问题包括在客户使用时发现，接到客户通知，弘竣实业在24小时内派维护人员赶到现场处理，因此所产生的费用自行承担。在客户使用期内若有不良产生，弘竣实业会及时调货或退货.
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