面轮廓度测量误差的测量方法包括仿形装置测量、截面轮廓样板测量、光学跟踪轮廓测量仪测量以及三坐标测量装置测量等。前3种测量方法要求做出理论轮廓样板后才能测量。由于理论轮廓样板制作非常困难，因此该测量方法适合于一种零件大批量生产过程中的检验。而采用三坐标测量装置进行测量时无需轮廓样板，只需要零件的CAD数学模型（零件的三维设计图形），因此该测量方法可应用于任何场合且测量数据可靠。