蓝宝石激光应力测量仪测量因镀膜引起的衬底变形■ 方便易用，快速、非接触式测量■ 样品台可通用于3 至8 寸样本，可根据要求订做全自动平台■ 如某一波长激光反射度不足，系统会自动使用另一波长激光进行扫瞄■ 可以进行2D 及3D 扫瞄■ 500 及 900°C 高温型号可选■ 样本上有图案亦适用
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