技术参数介绍：
性能指标：
光学系统规格
物镜
目镜
显微镜
工作
距离
视场
直径
放大倍数
焦距
2.5×/0.08
43.40
10×
25.00
25×
58.84
5.6
10×/0.25
17.13
100×
7.81
1.6
测量工作台读数装置主要规格X轴遇到测量范围50nm
Y轴遇到测量范围13nm
测量器分度值：0.01nm
测量台转动范围不限：NO limit
测量台刻度盘分度范围：0°～360°
测量台刻度盘之分度值：1°
测量台刻度盘游标读数示值：6’
测量精度：
仪器示值误差：± （4+L/15）μ m
仪器示值误差：包括测量误差和系统误差
注：测量地点温度变化20℃±3℃，L--被测件长度
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