工作原理：

2．本系列研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘作相反方向转动，工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。

2．本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。

特
点

1． 本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。

2．  采用四个电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。

3． 修面机采用伺服马达驱动，能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳，得到的平面修整效果非常好。

4． 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护功能；

5． 本系列研磨机有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。