操作方式

手动/快速移动

工作行程 mm

250*150

300*200

400*300

Z轴行程 mm

200

光栅系统

海德汉超精密光栅尺，分辨率0.25μm

重复精度

≤2.0μm

综合误差

≤2.0+L/250μm

影像系统

德国IDS专业级百万像素CCD

镜头系统

美国NAVITAR连续变倍镜头

放大倍率

光学倍率0.7X～4.5X，影像倍率28X～180X，

载物台尺寸mm

300*200

360*240

460*350

工作台尺寸mm

410*280

510*370

610*470

外形尺寸mm

680*500*860

750*550*860

900*650*880

仪器重量KG

200

300

450