TFT-LCD生产洁净厂房净化空调系统设置中的几个问题(净化知识)
??? (1) 新风处理 ?
1、TFT-LCD生产洁净厂房的净化空调系统的新风处理,一般采用集中方式处理,空气处理装置采用组合式空调机组,机组功能设置有:新风入口；初效过滤器；中效过滤器；预热盘管；预冷却盘；淋水室；除湿冷却盘管；再热盘管；风机；高效过滤器；新风出口。
? (2) 冷热源节能选择 ? 热源： 一个月产90K的5代TFT-LCD生产线的洁净室面积约为:10万M2,其净化空调系统的新风量约为1920000M3/H,新风机组处理后的参数:温度14oC,相对湿度95%,为使全年各个季节都能确保上面的新风参数,需消耗大量的能量,因此合理选择新风机组的冷热源供应,为TFT-LCD工厂运行过程降低能量消耗创造条件。具体TFT-LCD工程的热源应根据当地条件认真分析选择。为确保TFT-LCD洁净厂房室内温度，通常表冷器要使用14/19oC冷水，即制冷机在冬季或过渡季仍需运行，为了减少热能消耗，降低能源费用，可将冷冻机制冷过程式的冷凝热充分利用，用于加热盘管的加热，在制冷站设计时，采用带热回收的冷冻机组，可提供的50/45oC或45/40oC热水。
? 冷源：TFT-LCD洁净厂房新风机组的预冷盘管、除湿盘管和干盘管，一般采用两种水温的冷冻水，从节能考虑，预冷盘管和干盘管采用水温高于洁净室内空气露点温度的冷水，一般为14/19oC；为了保证室内的相对湿度，除湿盘管采用7/13oC。因此，根据具体工程的规模，设备配置等因素，可采用2种冷冻水供水温度的制冷机，由于冷冻机出水温度提高，可提高冷冻机COP值，可以达到节能的目的。
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（3）加湿及相对温度控制 ? 新风加湿采用纯水制备过程的一级反渗透水淋洗，既可确保生产区的相对温度，又可以去除空气中对和产有害的杂质气体。
? 洁净室的相对温度是由新风机组保证，它是通过设在新风处理机组出口的露点温度控制除湿冷盘管的冷冻水供水量和预热盘管的热水流量，且机组出口的露点温度还应根据其对应送风区域内实时检测的温度进行连续的整定，从而确保洁净室（区）的相对湿度。
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（4）洁净室（区）的压力、温度控制 ? TFT-LCD生产用洁净室（区）的压力，一般控制在30Pa,该压力通常是由净化空调系统供应的新风量进行控制。控制的方法是新风机组采用变频风机，该风是以洁净室（区）内的正压值控制风机转速以确保必需的新风量。目前在5代TFT-LCD生产线，对生产环境参数（空气洁净度、压力、温湿度等）的可靠性有较高的要求，因此新风处理机组应设