供应cascade探针台 M150是性价比最高、结构最为简单的150mm基准的wafer探针台方案，同时具有很高的度。优越的应用灵活性使得M150能满足DC和HF测量、器件和晶圆表征测试（DWC）、失效分析（FA）、亚微米探测、MEMS和光学工程测量。M150也能用作一个灵活的探头卡，实现wafer级的可靠性应用（WLR），能同时配备多达20个 探针座。
探针台规格：
主机 载物台 最大可到6” 载物台可旋转范围 ±180° 载物台平坦度 <10um 平台面积 1960cm 2 平台可移动范围 Z轴 5mm 机座XY移动范围 155mm x 155mm 最小步进 3um 显微镜 可移动范围 150mm x 150mm Zoom放大倍率 0.63 X~4.0X 目镜 30X 高频针座 固定形式 真空吸附 移动范围 40mm 度 1 um 直流针座 固定形式 真空吸附 移动范围 40mm 度 1 um 直流针 针尖直径 12um 机台外观尺寸
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