薄膜测厚仪

主要特点：

仪器特点

1 非接触式测量，用光纤探头来接收反射光，不会破坏和污染薄膜；

2 测量速度快，测量时间为秒的量级；

3 可用来测薄膜厚度，也可用来测量薄膜的折射率n和消光吸收k；

4 可测单层薄膜，还可测多层膜系；

5 可广泛应用于各种介质，半导体，液晶等透明半透明薄膜材料；

6 软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数，可供用户参考；

7 内嵌微型光纤光谱仪，结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用。
仪器成套性

测厚仪主体（内含光源和光纤光谱仪），光纤跳线，光纤探头，标准硅片，支撑部件，配套软件

可扩展性

通过光纤连接带有C口的显微镜，就可以使本测量仪适用于微区（>10um）薄膜厚度的测量。



强大的软件功能

界面友好，操作简便；

可保存测量得到的反射谱；

可读取保存的反射率数据；

可选择是否测量折射率n，消光系数k；

可选择光谱范围；

可猜测薄膜厚度以节省测量时间；

可从大量的材料库中选择薄膜和基底的材料；

用户可自己扩充材料库。