序号

名称

技术参数

1

电容检测精度

±0.01pF

2

检测取样频率

40次/每秒

3

检测取样面积

Φ5mm

4

随动控制精度

±0.1mm

5

最大行程

120mm

6

控制系统

自主开发

7

升降电机

高性能步进电机

8

控制器工作温度

-10~60℃

9

探头组件工作温度

-10~250℃

10

水冷/气体管径

Φ6mm

11

离焦量调节范围

1.0mm~4.0mm

12

供电电压

AC220V±10%, 50Hz/60Hz