高分辨Shack-Hartmann波前传感器结合了130万像素分辨率的CCD相机，可测定光束的波前形状和强度分布。这些波前传感器提供用于300-1100纳米的铬掩膜的微透镜阵列，或用于400-900纳米范围的增透膜微透镜阵列。前者的小透镜间距为150微米，而后者的间距为150或300微米。这三种产品使终端用户可选择高空间分辨率、增强的对比度或高波前精度的系统。