技术规格安装尺寸
型号ZLM700/800测量范围m0～120非线性nm±1.25(平面镜干涉±0.625)分辨率nm2.5(平面镜干涉1.25，双棱镜干涉0.625)测量速度m/s最大16信号延迟nm<100 ◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
型号
ZLM700/800
测量范围m
0～120
非线性nm
±1.25(平面镜干涉±0.625)
分辨率nm
2.5(平面镜干涉1.25，双棱镜干涉0.625)
测量速度m/s
最大16
信号延迟nm
<100
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