NM-X-15A尺寸小,毫秒级响应时间,应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量,高刚度,可以用于极端高的带宽环境。 电容传感器提供了高于纳米级的分辨率,实现在16微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑,运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器,NM-X-15A可以实现高于纳米级的响应。
应用领域 |
◆ | 磁头和硬盘测试; |
◆ | 干涉测量; |
推荐控制器 |
NM3110 |
主要特点 |
◆ | >5微米运动范围,高于纳米级分辨率; |
◆ | 振荡频率>8K; |
◆ | 小于微秒级响应时间(负载5g); |
◆ | 现场扫描和步骤反应最优化; |
◆ | 高稳定性; |
◆ | 即插即用,低停机时间; |
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推荐产品 |
| ZNXsensor超精密电容位移传感器 |
| ZCS1100精密电容位移传感器 |