NM-Z-15A是一个压电扫描柔性引导平台,该平台集成电容位移传感器。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。 其特点是高于纳米级的分辨率和重复性。这个平台是用来测量轴偏差极端微小角度偏差,用在扫描探针显微镜末端和其他不能容忍微小偏差的应用。
应用领域 |
◆ | 扫描探针显微镜; |
◆ | 干涉测量; |
◆ | 精密工程; |
◆ | 计量; |
推荐控制器 |
NM3110 |
主要特点 |
◆ | >5微米运动范围,高于纳米级分辨率; |
◆ | 振荡频率>3K; |
◆ | 0.005%磁滞、线性度; |
◆ | 现场扫描最优化; |
◆ | 高稳定性; |
◆ | 特殊钢材外壳; |
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推荐产品 |
| ZNXsensor超精密电容位移传感器 |
| ZCS1100精密电容位移传感器 |