项目	指标
项目	EL级	UP级	UP-S级
氢氟酸 (HF), w/%	49±0.5	49±0.5	49±0.5
色度 Color, 黑曾 ≤	≤10	≤10	≤10
硅氟酸, H2SiF6 ppb ≤	≤100000 ppb	≤20000 ppb	≤20000 ppb
氯化物, Cl ppb ≤	≤5000 ppb	≤5000 ppb	≤500 ppb
硝酸盐, NO3 ppb ≤	≤3000 ppb	≤3000 ppb	≤300 ppb
磷酸盐, PO4 ppb ≤	≤1000 ppb	≤1000 ppb	≤100 ppb
亚硫酸盐, SO3 ppb ≤	≤5000 ppb	≤2000 ppb	≤200 ppb
硫酸盐, SO4 ppb ≤	≤5000 ppb	≤500 ppb	≤200 ppb
铝( Al ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
砷( As ) ppb ≤	≤50 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
钡( Ba ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
铍( Be ) ppb ≤	≤20 ppb	≤5 ppb	≤1 ppb
铋( Bi ) ppb ≤	≤20 ppb	≤5 ppb	≤1 ppb
镉( Cd ) ppb ≤	≤50 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
钙( Ca ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
铬( Cr ) ppb ≤	≤20 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
钴( Co ) ppb ≤	≤20 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
铜( Cu ) ppb ≤	≤20 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
镓( Ga ) ppb ≤	≤20 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
锗( Ge ) ppb ≤	≤20 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
金( Au ) ppb ≤	≤20 ppb	≤5 ppb	≤1 ppb
铁( Fe ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
铅( Pb ) ppb ≤	≤50 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
锂( Li ) ppb ≤	≤20 ppb	≤5 ppb	≤1 ppb
镁( Mg ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
锰( Mn ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
钼( Mo ) ppb ≤	≤20 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
镍( Ni ) ppb ≤	≤50 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
钾( K ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
银( Ag ) ppb ≤	≤20 ppb	≤5 ppb	≤1 ppb
钠( Na ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
铂( Pt ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
锶( Sr ) ppb ≤	--	--	--
铊( Tl ) ppb ≤	--	≤10 ppb	≤1 ppb
锡( Sn ) ppb ≤	≤20 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
锑( Sb ) ppb ≤	--	≤10 ppb	≤1 ppb
钛( Ti ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
矾( V ) ppb ≤	--	≤10 ppb	≤1 ppb
锌( Zn ) ppb ≤	≤100 ppb	≤10 ppb	≤1 ppb
颗粒(≥ 0.5 μm ) 个 /ml ≤	≤25	≤25	≤25
颗粒(≥ 0.3 μm ) 个 /ml ≤	--	150	150
颗粒(≥ 0.2 μm) 个 /ml ≤	--	--	--