DIT5200差动电涡流位置传感器内含两个电涡流探头，具有高分辨率、高灵敏度，多用于被测材料为铝、铜等的导电材料；有单、双通道配置。 应用领域 应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。 主要特点 ◆ 线性度:±0.1～1%； ◆ 量程：±0.25mm /±1.915mm； ◆ 频响: 0～22KHz； ◆ 埃米级分辨率； ◆ 高灵敏度，最高394mV/μm；
应用领域
应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。
主要特点
◆
线性度:±0.1～1%；
量程：±0.25mm /±1.915mm；
频响: 0～22KHz；
埃米级分辨率；
高灵敏度，最高394mV/μm；
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