工业级六氟化硫

注：氟气、试剂级氢氟酸、氟硅酸、氟硼酸以原标准为准。

性状：常温常压下为气态，它是一种无色、无臭、无毒、无腐蚀性的气体。熔点-50.8°C，升华点或沸点为-63.8°C，气体密度6.16g/l(20°C，0.1MPa)，在熔点时密度为2.51g/cm3，具有高的绝缘性和灭弧能力。

用途：电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。

贮存：应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。

运输：长途运输时应附有GB19-73《危险货物包装标志》中指定标志。气瓶充装系数不大于1.33kg/L。

包装：应充装在洁净、干燥的无缝高压气瓶中，气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根据用户需要选用各种容积的气瓶或其它容器。(一般情况，使用气瓶公称压力为15MPa时，充装系数<1.37kg/L)。