电涡流传感器应用领域
应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。
电涡流传感器主要特点
线性度:±0.1～1%；
量程：±0.25mm /±1.915mm；
频响: 0～22KHz；
埃米级分辨率；
高灵敏度，最高394mV/μm
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