应用领域

光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

主要特点

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埃米级分辨率

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有1、2或3通道可配电涡流探头

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可配13种电涡流探头

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工作温度：0～70ºC(补偿范围15～55ºC)

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符合CE和RoHS标准

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输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)

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供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)