不管是微电机，微型开关或其他精细组件，用F25可以高精度测量微系统技术的每个工件

至纳米

坐标测量机F25符合蔡司的质量保证特别要求，在此特别尺度下，微系统技术生产的工件尺寸、形状和位置。微系统技术组件将被用于汽车零部件和医疗仪器上，并在高精度控制和调节过程中起到决定性作用。此精细工件质量监控的精度决定了零部件使用时的可靠性。

重要特征

• 超精密运动学与高精度测量系统的完美组合分辨率为7.5nm，测量精度达到250nm
• 久经考验的Calypso测量软件

机器技术

• 灵活地多功能传感器：同一系统采用触发式和光学测量
• 接触式被动扫描——传感器基于硅芯片，并带有集成的压阻组件
• 光学影像传感器ViSCAN使用蔡司显微技术镜头，可用于二维测量
• 附加的相机支持探测时的可视化操作，并且便于示教编程

选项

• 灵敏的三维微探针测杆直径50至500μm及测针头直径100至700μm

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