LMX2E型线性马达特征 应用   直线度可达10um
X轴最大6m Y轴05m行程
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台
良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达纳米等级以下最大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统解析度最低可达50nm    半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割产业
AOI检测设备