英国Oxford牛津SRP-4面铜探头（CMI563/CMI700专用）

SRP-4面铜探头测试技术参数

专用于Oxford牛津CMI760(CMI700)座台式孔面铜测厚仪

铜厚测量范围：

化学铜：10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm)

电镀铜：0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm)

线形铜可测试线宽范围：8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm)

准确度：±1% (±0.1 μm)参考标准片

精确度：化学铜：标准差0.2 %；电镀铜：标准差0.5 %

分辨率：0.01 mils ≥ 1 mil, 0.001 mils <1 mil,

0.1 μm ≥ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm

英国Oxford牛津ETP孔铜探头(CMI500/CMI700专用)

ETP孔铜探头测试技术参数：

专用于Oxford牛津CMI511（CMI500）孔铜测厚仪、CMI760（CMI700）座台式孔面铜测厚仪

可测试最小孔直径：35 mils (899 μm)

测量厚度范围：0.08 – 4.0 mils (1 – 102 μm)

电涡流原理：遵守ASTM-E376-96标准的相关规定

准确度：±0.01 mil (0.25 μm) < 1 mil (25 μm)

精确度：1.2 mil（30μm）时，达到1.0% （实验室情况下）

分辨率：         0.01 mil(0.1 μm)

显示                6位LCD数显

测量单位          um-mils可选

统计数据          平均值、标准偏差、最大值max、最小值min

接口                232串口,打印并口

电源              AC220

仪器尺寸          290x270x140mm

仪器重量          2.79kg

英国Oxford牛津SRP-T1面铜探头/探针（CMI165专用）

SRP-T1探头：CMI165专用可更换探针

牛津仪器工业分析部研发的SRP-T1探头，综合运用微电阻原理及温度补偿技术，使其成为世界上首家

推出带温度补偿功能的铜箔测厚仪的制造商。