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ASM142 氦质谱检漏仪是法国ALCATEL 公司最新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪器。可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。该检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。符合美国真空标准AVS2.1 以及国际标准ISO3530 的标准。内置式标准漏孔，带自动温度补偿系统。开机5 分钟后完成全部准备工作，可以开检。数显工作界面；数字显示漏率，带音频报警。所有工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护：防止大气突然冲入。
技术规格:
灵敏度： 5.0×10-12 mbar.l/s
漏率显示范围： 2 ×10-12 ~1 ×10-1 mbar.l/s (He)
达到检漏的时间（空盒时）： 小于30 秒
发射电流显示： 0.2—2mA
检漏口对氦气的抽速： 1.3 升/秒
启动时间： 小于5 分钟
接口尺寸: DN 25 KF
外观尺寸： 510×343×428mm
重量： 56Kg
电源：
220V 50Hz 单相
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法国ALCATEL公司素来以生产精密的工业产品而著名，该公司生产的泵主要的服务行业为烟草，食品饮料，石油化工，橡胶加工等涉及自动化生产线的行业。
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ALCATEL阿尔卡特单级旋片油润真空泵1004A,1012A,1030,1033,1060,1063.ALCATEL阿尔卡特双级旋片油润真空泵I系列2002I, 2005I, 2010I, 2015I, 2021I;ALCATEL
阿尔卡特SD系列2005SD, 2010SD, 2021SD, 2021SD, 2033SD, 2063SD, 2100SD;ALCATEL
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I系列双级旋片真空泵（2002I、2005I、2010I、2015I、2021I），SD系列双级旋片真空泵（2005SD、2010 SD、2015 SD、2021 SD、2033 SD、2063 SD、2100 SD型），SD系列单级旋片真空泵（1005 SD、1015 SD型），C1系列双级旋片真空泵（2005 C1、2010 C1、2015 C1、2021 C1、2033 C1、2063 C1、2100 C1型），C2系列双级旋片真空泵（2010 C2、2015 C2、2021 C2、2033 C2、2063 C2型），H1系列双级旋片真空泵（2005H1、2015 H1、2033 H1、2063 H1型）ACP系列2干式粗抽泵（ACP15、ACP15G、ACP28、ACP28G、ACP40、ACP40G型），ACP系列通用型干泵（ACP120、ACP120G、ACG600、ACG600G型），AMD系列机械薄膜泵（AMD1、AMD4、AMD4C型），RSV系列罗茨真空泵（RSV301B、RSV601B、RSV1002、RSV2000型），ADP/ADS系列2多工艺复合干泵（ADP122、ADS602、ADS1202、ADS1802型），A3H系列低功率消耗工艺泵（A803H、A1503H、A1803H型），负载锁干泵（A100L、AD30KL、AD70KL型），ATH-M系列磁悬浮涡轮分子泵（ATH500M、ATH1603M、ATH1603MT、ATH2303M、ATH2303MT、ATP2300M、ATH2800M、ATH2800MT、ATH3200M、ATH3200MT），ATH系列陶瓷球轴承涡轮分子泵（ATH31、ATH200、ATH300型），ATP系列陶瓷球轴承涡轮分子泵（ATP80C、ATP100C、ATP150C、ATP400C、ATP900C型），5011系列分子牵引泵（MDP5011、MDP5011CP型），2000系列真空计（AP2004、ACC2009、AHC2010、ASD2001…2004、ACS2000、ACM2000型），氦气检漏仪（ASM310、ASM graph系列、ASM142系列、ASM380、ASM182系列、ASM1002、ASI20MD、ASM142S、ASM102S型，以及各种附件），另有氢气检漏仪，各种真空泵组，阀门等附件
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