传统的加工方法存在诸多问题，难以满足这些加工要求。如蓝宝石衬底研磨机的机械抛光方法具有较高的加工精度和加工效率，但表面质量不能完全达到要求，化学抛光可以得到没有加工变质层的平滑表面，却在加工精度和加工效率上存在一些问题。针对水合平面研磨机这种少无损伤加工方式进行了深入的研究。本文在系统地分析了各种研磨运动方式后，选择了主动驱动和摆动两种抛光方式作为研究对象。运用运动学、统计学以及计算机仿真技术，系统地模拟了水合抛光中抛光盘与工件的相对运动规律、工件的表面加工均匀性、抛光盘的结构变化对抛光均匀性的影响和水合抛光过程中抛光温度场的分布情况。最后通过单晶蓝宝石的水合抛光试验对计算机仿真分析方法进行了验证，证明了计算机仿真方法的有效性。将计算机仿真分析方法直接用于指导实际加工过程，既能够提高研磨效率，又可以降低加工成本，具有广泛的应用前景。
