NM-Z-15B是一个集成了电容传感器的纳米平台。特点是高于纳米级的分辨率和重复性。
这个平台是用来测量极端微小的角度偏差以及扫描对位移精度要求非常高的探针显微镜和干涉法。
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应用领域 |
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扫描探针显微镜； |
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◆ |
干涉测量； |
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◆ |
精密工程； |
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◆ |
计量； |
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推荐控制器 |
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NM3110 |
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主要特点 |
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◆ |
>15微米运动范围，高于纳米级分辨率； |
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◆ |
振荡频率>1.8K； |
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◆ |
0.005%磁滞、线性度； |
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◆ |
高带宽(>300Hz)响应时间短； |
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◆ |
现场扫描最优化； |
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高稳定性； |
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特殊钢材外壳； |
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推荐产品 |
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ZNXsensor超精密电容位移传感器 |
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ZCS1100精密电容位移传感器 |
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技术规格
安装尺寸
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参数 |
符号 |
值 |
单位 |
备注 |
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静态参数 |
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最小 |
标准 |
最大 |
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材质 |
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特种不胀钢 |
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尺寸 |
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53（长）x 20（直径） |
mm |
① |
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*范围 |
dzp·max |
±7.5 |
±8.0 |
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um |
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比例因子 |
Bz1 |
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1 |
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um |
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*比例因子误差 |
δbz1 |
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0.1 |
% |
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静态刚度 |
kz |
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20 |
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N/um |
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共振频率（空载） |
f0·0 |
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2400 |
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HZ |
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共振频率（20g） |
f0·20 |
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1700 |
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HZ |
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共振频率（100g） |
f0·100 |
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1200 |
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HZ |
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最大负载 |
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0.5 |
kg |
② |
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动态参数 |
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快 |
中 |
慢 |
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③ |
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3dB带宽 |
Bz·p |
300 |
250 |
14 |
HZ |
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*信号响应时间 |
tzs·s |
1.6 |
3.2 |
2.2 |
ms |
④ |
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*位置嗓音 |
δZp·n |
0.56 |
0.33 |
0.25 |
nm |
⑤ |
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转换速率 |
Uzp·max |
2 |
1 |
0.2 |
um/ms |
⑥ |
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误差 |
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最小 |
标准 |
最大 |
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*磁滞（峰峰值） |
δzp·hyst |
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0.005 |
0.01 |
% |
⑦ |
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*线性度（峰值） |
δzp·lin |
|
0.01 |
0.01 |
% |
⑧ |
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角度偏差1 |
δФz |
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10 |
urad |
⑨ |
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角度偏差2 |
δУz |
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|
10 |
urad |
⑨ |
注意：
*这些参数由各转换器实测并提供的。
①、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。
②、最大负载取决于方向，0.5Kg是X、Y、Z轴方向的最大负载，
在弯曲部分超过2Kg就有可能造成损坏。
③、动态参数，在不同参数下的工作状况，这个参数用户可以通过软件设置。
“动”指的是快的情况，负载小于20g,“中”指的是在负载为100g是最大能达到的速度，
“慢”值负载为最大负载时最大能达到的速度。
④、这是2%的响应时间，这是伺服系统的闭环参数，用户可以控制，测试单位是500nm。
⑤、实际的位置嗓音。
⑥、变换位置的最大速率，这受闭环参数的限制。
⑦、位移的百分比，意思是位移为1um则磁滞小于0.1nm。
⑧、线性误差为满量程的百分比。
⑨、在运动空过程中产生的角度偏移误差，这个误差在X、Y、Z轴均可能发生。 |
