供应ZNXsensor超精密电容位移传感器精密电容位移传感器
品牌/型号
ZNXsensor超精密电容位移传感器
该传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不同的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
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应用领域 |
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压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。 |
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主要特点 |
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◆ |
量程20~1250μm; |
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◆ |
分辨率<0.1nm;零磁滞; |
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◆ |
线性最高0.02%; |
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◆ |
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调; |
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◆ |
真空兼容选项; |
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双极性电容传感器工作示意图 |
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相关产品 |
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ZLDS200激光二维扫描传感器 |
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ZLDS10X可定制激光位移传感器 |
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KD2306高性能电涡流位移传感器 |
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技术规格
安装尺寸
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传感器型号 |
ZNXA |
ZNXB |
ZNXC |
ZNXD |
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小量程μm |
- |
20 |
100 |
250 |
|
灵敏度μm/V |
- |
2 |
10 |
25 |
|
噪音nm rms Hz-1/2 |
- |
<0.001 |
<0.005 |
<0.013 |
|
温漂nm/K |
- |
1 |
4.4 |
11 |
|
线性度% |
- |
<0.08 |
<0.03 |
<0.06 |
|
大量程μm |
50 |
100 |
500 |
1250 |
|
灵敏度μm/V |
5 |
10 |
50 |
125 |
|
噪音nm rms Hz-1/2 |
<0.08 |
<0.015 |
<0.075 |
<0.188 |
|
温漂nm/K |
2.2 |
4.4 |
22 |
55 |
|
线性度% |
<0.08 |
<0.08 |
<0.05 |
<0.06 |
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频响Hz |
50/500/5000 |
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控制器型号 |
NS2000 |
NM2110 |
S2000和NS模块 |
NM3330 |
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传感器通道最大个数 |
1 |
1 |
14 |
3 |
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供电 |
±15V,70mA |
90~130V或220~260V |
90~110V或110~130V或220~260V |
90~260V |
|
模拟输出V |
±5 |
±5 |
±5 |
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数字输出 |
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16位(可选) |
7位浮点数 |
|
频响KHz |
5 |
5 |
5 |
12.5 | ◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。 |