品名称：测量显微镜CL-200
产品型号：CL-200
产品介绍：
一、特点: 以裂像聚焦指示器为测量原理, 采用高精度光学聚焦点检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场，微分干涉，偏光的观察功能。所以对极细微的间隙高低差，夹杂物、微米以下的突起、细微划痕进行观察。
二、用途：适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构，几何形状进行显微观测。并且有三维的测量功能，其解析率达0.0005mm。因此是精密零件，集成电路，半导体芯片，光伏电池，光学材料等行业的必用仪器。
技术指标：
1. 镜筒：铰链式三目头部 30°倾斜 270°旋转
2. 高眼点平场目镜: WF10X/22mm
3. 平场复消色差物镜：(可根据使用需求选择不同倍率的物镜)
f=200mm用全平场复消色差物镜/MPlan APO |
物镜数据 | |
倍率 | 2X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | 0.55 |
W.D(mm) | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | 13 |
焦点距离(mm) | 100 | 40 | 20 | 10 | 4 | 2 |
分解率(µm) | 5 | 2 | 1 | 0.7 | 0.5 | 0.5 |
焦深(µm) | 91 | 14 | 3.58 | 1.6 | 0.9 | 0.9 |
4. 水平转换器：五孔转换器，可保证测量精度
5. 落射式照明系统： 高亮度LED灯（5W）
6. 调焦结构：粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置，粗动升降范围30mm，微动格值，0.001mm*100格，数显解析值 0.0005mm。
7. 透射光源：LED光源，1W，亮度可调
8. Z轴升降范围：38mm以内，手轮转动130mm 允许最高工件 130mm，导轨精度3+L/1000
X轴移动范围：200mm 解析率：0.001mm 可解锁手动快进，
Y 轴移动范围：100mm 解析率：0.001mm 可解锁手动快进，
测量精度(3+L/100)um (L: 被测长度,um)
落射光测量误差≤0.08%
