L481111/RZQ立式真空烧结退火炉

该真空烧结退火炉是生产半导体器件和磁性材料烧结、退火工序中的重要设备。

主要技术指标：

1、工作温度：400～1250℃

2、单点温度控制精度≤±1℃/24h

3、恒温区长度：≥200mm/±1℃

4、升温功率：≤5KVA

5、升温时间：（室温至1050℃)≤75min

6、保温功率：≤3KVA

7、重新定值重复性：≤±1℃

8、重开机重复性：≤±1℃

   冷态真空度：≤5 x 10-3Pa（打开扩散泵门后15min）

9、炉体传动升降分：自动及点动，速度无级调速，自动烧结烧结为0～30min

10、真空室尺寸：φ80㎜～φ300mm

11、设备外形尺寸：1703 x 703 x 2450 (mm)(长 x 宽 x 高）

12、重量：约600Kg

13、工作条件：(1)环境温度：10～45℃

(2)相对湿度：≤85%

(3)电网电压：220V ± 10% ～ 380V单、双管卧式真空烧结炉、烧结炉、陶瓷烧结炉、链（带）式烧结炉、全功能微控扩散系统、真空扩散炉、高温扩散炉、烘焙排腊炉、单管氢气炉、真空烧结炉、双工位立式真空烧结炉、陶瓷金属化氢气烧结炉、马弗炉