高精度直线电机，音圈电机气浮平台，多轴气浮精密平台，在工作中要求达到亚微米级的运动精度,。直线电机气浮精密运动平台, 对气浮导轨设计、直线电机控制等关键技术进行了研究. 采用有限元设计法设计了气浮导轨,采用该方法设计的气浮导轨具有较高的承载能力和刚度. 提出一种改进的PID控制策略, 从而改善直线电机运动平台的抗干扰能力, 并使其获得较高的稳态位置精度. 实验结果显示, 在采用这种控制方法后, 直线电机气浮精密平台的定位精度可达亚微米，甚至是纳米级的精度要求。
双边直线电机驱动的H 型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了研究。利用有限元法设计了气浮导轨,分析了气膜压力场的分布情况,采用预加载技术提高气浮导轨的承载能力和刚度等性能。静态特性实验表明,开发的定位平台气浮导轨具有较高的承载能力和刚度,设计了基于同步速度偏差的改进型并联结构同步控制器,采用模糊控制实现PID 参数的自适应在线整定。运动实验表明,改进的控制器具有较高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制提高了3 倍多,适合于具有强机械耦合的多电机同步运动控制。H 型直线电机气浮定位平台具有承载能力强、精度高的优点,可以用于光刻机和光学检测等精密工程领域。
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