酸雾塔主要处理生产线清洗工序、扩散工序与刻蚀工序所排放的酸排废气。净化器分进风段、喷雾处理段和出风段。酸雾塔采用双风机抽风，一备一用。

二、 开机前检查：
1. 确认风机及水泵通电是否正常，检查变频器参数是否设置正确；
2. 确认风机轴承座润滑油是否足够，保持在油镜中心位置偏上1-2mm；
3. 检查风机皮带、皮带轮、电源线是否正常；
4. 检查贮液箱溶液PH是否在要求范围之内，PH要求一般为8.3~9，溶液浓度控制在2%~6%之间；
5. 确认液下泵体浸没在液体内。
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