技术规格安装尺寸

注意：

*这些参数由各转换器实测并提供的。

①、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。

②、最大负载取决于方向，0.5Kg是X、Y、Z轴方向的最大负载，

在弯曲部分超过2Kg就有可能造成损坏。

③、动态参数，在不同参数下的工作状况，这个参数用户可以通过软件设置。

“动”指的是快的情况，负载小于20g,“中”指的是在负载为100g是最大能达到的速度，

“慢”值负载为最大负载时最大能达到的速度。

④、这是2%的响应时间，这是伺服系统的闭环参数，用户可以控制，测试单位是500nm。

⑤、实际的位置嗓音。

⑥、变换位置的最大速率，这受闭环参数的限制。

⑦、位移的百分比，意思是位移为1um则磁滞小于0.1nm。

⑧、线性误差为满量程的百分比。