概述

纳米平台模块之间的组合十分灵活，每种可以适用于不同型号的高分辨率显微镜。每个产品都有非常低的旋转误差，有非常好的重复性和简单的图像校准。 
NM-XYZ-100A-Z15A有Z轴的平台，可以实现三轴解决方案。X,Y轴有120微米的运动范围、Z轴有16微米的运动范围。结合数字闭环控制，这个系统提供了成熟又容易操作的解决方案，来解决高分辨率显微镜。 
NM-XYZ-100A-Z15A由NM-XY-100A, NM-Z-15A组成，有4中不同的安装配置方式，适应不同的场合。

应用领域

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高精度显微镜；

推荐控制器

NM3330

主要特点

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X,Y运动范围120微米，Z轴16微米；

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三轴都有高于纳米级的精度和稳定性；

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稳定的平台；

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非常低的磁滞和线性误差；

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简单的操作，简易的图像校准；

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现场扫描响应最优化；

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长期稳定性；

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特殊钢材外壳（Super Invar）；

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