GX干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
GX泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载制程。模块化设计允许用户对GX干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
功能和优势
- 低运行成本
- 与iL/iH干泵相比，设施成本最多可降低50%
- 无需预防性维护
- 灵活的安装选项
- 可以改进工具吞吐量
- 全程一致的泵送性能
- 降低了环境噪音
- 峰值速度范围宽
技术数据
| GX100 | GX600 | GX1000 |
性能 |
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峰值速度 | 105 m3h-1 | 620 m3h-1 | 800 m3h-1 |
| 62 ft3min-1 | 365 ft3min-1 | 471 ft3min-1 |
| 1750 lmin-1 | 10333 lmin-1 | 13333 lmin-1 |
极限压力 | 5 x 10-3mbar | 7 x 10-4mbar | 1 x 10-3mbar |
| 3.75 x 10-3Torr | 5.25 x 10-4Torr | 7.5 x 10-4Torr |
| 0.5 Pa | 0.07 Pa | 0.10 Pa |
700 Torr排气压力下的极限 |
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功率 | 1 kW | 1.6 kW | 1.6 kW |
