概要

STP-iXA3306系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STPiXA3305系列的最新技术）。
该泵的高度等于STP-XA2703/XA3203的高度，也等于STP-iXA3305系列（不带其电源供给(iPS-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。

用途

• 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
• 电子回旋共振(ECR)刻蚀
• 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 溅射
• 离子注入源，射束线泵送和站

功能与优势

• 紧凑型设计，包括完全集成的控制器
• 创新性自传感轴承系统
• 数字化5轴控制
• 与现有涡轮泵相比振动级别降低了50%
• 可以配置为运行腐蚀性制程

*最大气流适用于在25 ºC以下的水冷却温度下连续泵送N2 或Ar气体，并且使用前级泵（10,000 l/min尺寸）的情况。它会随条件变化而变化。