STP-iX455涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统,与上一代涡轮泵相比将振动降低了50%。采用集成的控制器,不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆,不需要水冷却。
此泵的氮气抽速为450 ls-1。STP-iX455极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。
应用
- 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
- 电子回旋共振(ECR)刻蚀
- 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源,射束线泵送端点站
- MBE
- 扩散
- 光致抗蚀剂脱模
- 晶体/晶膜生长
- 晶片检查
- 负载锁真空腔
- 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
- 高能物理:射束线、加速器
- 放射线应用:融合系统、回旋
功能和优势
- 紧凑型设计,包括完全集成的控制器
- 创新性自传感轴承系统
- 数字化5轴控制
- 与现有涡轮泵相比振动级别降低了50%
- 可以配置为运行腐蚀性制程
- 自动平衡系统(ABS)标准
- 自动减振(AVR)标准
- 列于UL中,具有CE标记,符合SEMI® S2
技术数据入口法兰 | ISO100K |
抽速 | |
N2 | 300 ls-1 |
H2 | 300 ls-1 |
压缩比 | |
N2 | >108 |
H2 | >1 x 104 |
极限压力 | 6.5 x 10-6Pa |
最大工作压力 | 1.3 x 10-1Pa |
允许的前级压力 | 67 Pa |
额定速度 | 55000 rpm |
启动时间 | <6分钟 |
固定位置 | 任何方向 |
冷却方法 | 自然冷却(加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却) |
润滑油 | 不需要 |
前级泵 | 240 lmin-1 |
泄露磁通量 | |
轴向方向 | <100 m/Gauss |
径向方向 | <100 m/Gauss |
环境温度范围 | 0至40 °C |
存储环境温度范围 | -25至55 °C |
重量 | 15 kg |