应用领域

◆

磁盘驱动器磁头测试；

◆

膜/晶圆夹头对齐；

◆

扫描探针显微技术；

◆

光腔调整；

◆

干涉测量；

型号

-LN -低噪声 
-LD -低延迟 
-LN-LD -低噪声，低延迟

主要特点

◆

工作电压±15VDC；

◆

可选低噪音和低延迟；

◆

模拟位置指令输入；

◆

14位的数字位置命令输入；

◆

主机单元安装多个DP；

推荐产品

参数

符号

值

单位

备注

静态参数

型号

DP

DP-LN

DP-LD

DP-LN-LD

尺寸

218L x 77W x 34H

mm

供电电压DC

+

+1.5±0.5

V

-

+1.5±0.5

V

供电电流DC

+

220（静态），500（最大）

mA

-

220（静态），500（最大）

mA

模拟位置输入

-10~+10

V

数字位置输入

14-bit，TTL和CMOS（并行输入）

电源和接口连接器

37路D型插头

执行器接口连接器

25路D型插座

①

动态参数

工作温度

+10~+50

℃

储存温度

0~+70

℃

相对湿度

5~95（非冷凝）

%

温飘系数

0±25

0±25

0±5

0±5

nm/℃

噪音

<0.1

<0.5

<1.0

<0.5

nm rms

带宽（出厂设置）

DP-CS

300±20

Hz

②

DP-CM

150±20

Hz

DP-CL

70±10

Hz

摆率

1

um/ms