NM2110是由纳米传感器,高电压放大器和控制电子元件结合作为一个单一通道的独立单元并且集成电源供电。 NM2110控制器是专门设计来控制纳米精密纳米平台(纳米平台的范围或者说组成是纳米传感器和压电转换器)在OEM的应用。 电子控制器使用了复杂的等比例,积分和微分控制回路。陷波滤波器也被添加到删除用于去除一阶阶段的共振。通过这些循环参数的组合设置可以使纳米平台提供更快的响应,比仅仅只有积分闭环控制的响应要快得多。 |
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应用领域 |
◆ | 磁盘驱动器磁头测试; |
◆ | 膜/晶圆夹头对齐; |
◆ | 扫描探针显微技术; |
◆ | 光腔调整; |
◆ | 干涉测量; |
主要特点 |
◆ | 模拟定位监控; |
◆ | 模拟命令输入; |
◆ | 可选16位数字命令带0.2nm/bit分辨率(15μm的微动平台); |
◆ | 闭环操作; |
◆ | 等比例,积分和微分(PID)反馈; |
◆ | 陷波滤波器; |
◆ | 可调的闭环带宽; |
◆ | 线性度<0.02%; |
◆ | TTL兼容READY信号并带可调READY下限; |
◆ | 同步信号多方向同时工作; |
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